MOCVD 自(zì)動控制(zhì)系統

系統概述
MOCVD是(shì)制(zhì)造超薄層微(wēi)結構（低(dī)維半導體(tǐ)材料）最常用(yòng)、成本較低(dī∏)、生(shēng)産量大(dà)的(de)設備方法之一(yī)。
系統原理(lǐ)
控制(zhì)系統總體(tǐ)分(fēn)為(wèi)源供給系統、氣體(tǐ)輸運系統、反應室加熱(rè)系統、尾氣處理(lǐ)系統、安全保護及報(bào)警系統五大(dà)部分(fēn)€；核心控制(zhì)功能(néng)為(wèi)溫度控制(zhì)及氣體(tǐ)流量控制(zhì)。
系統配置
.自(zì)動化(huà)控制(zhì)器(qì): e-Control PLC，是(shì)控制(zhì)系統的(de)核心硬件(jiàn)平台。
.人(rén)機(jī)界面硬件(jiàn): TPC1503工(gōng)業(yè)級15寸觸摸式平闆電(diàn)腦(nǎo)。
.人(rén)機(jī)界面軟件(jiàn): NETSCADA組态軟件(jiàn)開(kāi)發平台，提供MOCVD相™(xiàng)關功能(néng)模塊。

 藍(lán)寶石爐控制(zhì)系統

系統概述
藍(lán)寶石爐是(shì)LED行(xíng)業(yè)關鍵設備之一(yī)。藍(lán)寶石晶體(tǐ)←獨特的(de)晶格結構、優異的(de)力學性能(néng)、良好(hǎo)的(de)熱(rè)學性能(néng)使其成為(wèi)半導體(tǐ★)GaN發光(guāng)二極管(LED)，大(dà)規模集成電(diàn)路(lù)SOI和(hé)SOS及超導納米結構薄膜等最δ為(wèi)理(lǐ)想的(de)襯底材料。
系統原理(lǐ)
藍(lán)寶石爐設備總體(tǐ)可(kě)分(fēn)為(wèi)加熱(rè)系統、籽晶提升系統、稱重系統、真空(kōng)系統、水(∏shuǐ)冷(lěng)系統、圖像識别系統六大(dà)部分(fēn)。
系統配置
.自(zì)動化(huà)控制(zhì)器(qì): e-Control PLC，是(shì)控制(zhìλ)系統的(de)核心硬件(jiàn)平台。
.人(rén)機(jī)界面硬件(jiàn):工(gōng)業(yè)級觸摸式平闆電(diàn)腦(n‍ǎo)。
.人(rén)機(jī)界面軟件(jiàn): NETSCADA組态軟件(jiàn)開(kāi)發平台。